일요주간 - DN솔루션즈, 난삭재 정밀가공 혁신 ‘DNC 시리즈’로 반도체 장비 국산화 앞당긴다

▲ DN솔루션즈의 새로운 고정밀 연삭 가공기 DNC 8060(사진=DN솔루션즈)

[일요주간=이수근 기자] 공작기계 글로벌 3위이자 국내 1위 기업인 ㈜DN솔루션즈(대표 김원종)가 반도체 산업의 핵심 공정에 필요한 고정밀 연삭가공기 ‘DNC 시리즈’(DNC 8050, DNC 8060)를 새롭게 선보였다.

‘DNC’는 ‘DN Solutions Ceramic’의 약자로, 세라믹 등 난삭재 가공에 특화된 DN솔루션즈의 기술력을 상징한다. 이번 신제품은 반도체 웨이퍼 공정에 사용되는 포커스링 등 고온·화학 환경에서도 견디는 소모성 부품 제작을 위해 설계됐다. 이러한 부품들은 석영(Quartz), 세라믹(Ceramic), 실리콘카바이드(SiC) 등 내열성과 내화학성이 뛰어난 소재로 만들어지지만, 그만큼 가공이 까다롭다. DNC 시리즈는 이 같은 난삭재를 미세 단위까지 정밀하게 가공할 수 있도록 개발된 장비다.

DN솔루션즈는 석영·세라믹처럼 단단하지만 깨지기 쉬운 소재의 가공 문제를 해결하기 위해 자체 기술로 고성능 연삭 스핀들을 완성했다. 최대 10,000rpm의 회전 속도와 7.5kW의 고출력을 구현하는 이 스핀들은 고품질 가공과 높은 생산성을 동시에 확보했다. 여기에 진동과 열로 인한 오차를 최소화하는 일체형 고강성 베드 구조와 고정도 이송축 가이드가 적용돼 장시간 연속 가공에서도 품질 변동을 효과적으로 억제한다. 특히 기존 장비에서 빈번히 발생하던 스핀들 위치 틀어짐 문제를 개선해, 정밀도 유지 수명을 대폭 향상시켰다.

또한 DNC 시리즈는 가공 중 발생하는 석영 미세 분진(슬러지)으로 인한 장비 손상 위험을 줄이기 위해, 장비 베드의 경사면 전체를 감싸는 슬라이딩 커버 구조를 적용했다. 이와 함께 일자형 탈착식 절삭유 탱크를 채택해 청소와 유지보수가 간편해졌다. 공구 드레싱 작업의 자동화도 돋보인다. 장비 내부에 전용 핀들을 내장해 숫돌 공구 표면에 끼이는 분진을 자동으로 제거함으로써, 가공을 멈추지 않고도 공구의 형상과 성능을 일정하게 유지할 수 있다.

DNC 시리즈는 선반의 터닝 기능과 밀링의 복합기능을 통합해, 한 번의 셋업으로 내경·외경·홀·윤곽 등 다양한 가공을 동시에 수행할 수 있다. 여기에 공구 자동 교환, 공구 자동 측정, 소재 자동 측정 장치를 더해 완전한 자동화 생산 시스템을 구현했다. 이는 작업자의 부담을 줄이고 생산 효율을 극대화하는 핵심 요소로 평가된다.

DN솔루션즈 관계자는 “당사는 이미 국내 반도체 소재 가공장비 시장의 절반 이상, 일부 공정에서는 80% 가까운 점유율을 확보하고 있다”며 “이번 DNC 시리즈는 축적된 기술력과 현장 경험을 바탕으로 개발된 제품으로, 반도체 장비 국산화와 기술 경쟁력 강화에 중추적인 역할을 할 것”이라고 강조했다.

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